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ATV真空回流爐的基本結(jié)構(gòu)

日期:2025-07-07 11:54
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摘要:
 
 
  ATV真空回流爐包括以下幾個結(jié)構(gòu):氣路系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、加熱系統(tǒng),真空系統(tǒng)、測量系統(tǒng)和**系統(tǒng):
      氣路系統(tǒng)
  N2有三路:一路通到工藝腔體;一路作為氣冷通入冷卻管(和水冷一個管道);一路通到真空泵gas ballast,作為提高真空泵壓縮比的功能。 H2有一路,通到腔體內(nèi)。H2/N2一路,通道腔體內(nèi)。
      冷卻系統(tǒng)
  分為內(nèi)循環(huán)和外循環(huán) 內(nèi)循環(huán):設(shè)備內(nèi)部有個水箱,內(nèi)裝有DI water,通過水泵將水箱里面水進行循環(huán),用來冷卻加熱板、法蘭、plasma。外循環(huán):客戶提供外部冷卻水用來冷卻水箱。
      加熱系統(tǒng)
  ATV真空回流爐包括主加熱和邊緣加熱。
  主加熱也就是整個加熱板。占加熱的95%。
  邊緣加熱是在熱板的四周追加邊緣加熱絲,為了更好的提高熱板的均勻性,增大工藝有效面積。

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